超纯水作用于超纯材料的应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术的制备过程。超纯水又称UP水，是指电阻率达到18MΩ*cm（25℃）的水。这种水中除水分子外，几乎没有杂质，更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物，也没有人体所需的矿物质微量元素，是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。
常见用于以下领域：
1、电子、电力、电镀、照明电器、实验室、食品、造纸、日化、建材、造漆、蓄电池、化验、生物、制药、石油、化工、钢铁、玻璃等领域。
2、化工工艺用水、化学药剂、化妆品等。
3、单晶硅、半导体晶片切割制造、半导体芯片、半导体封装 、引线柜架、集成电路、液晶显示器、导电玻璃、显像管、线路板、光通信、电脑元件 、电容器洁净产品及各种元器件等生产工艺。
4、高压变电器的清洗等。
